SCIENCE PROBE GATE VALVE 真空閘閥
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SCIENCE PROBE 3rd (MULTI) POSITION GATE VALVESCIENCE PROBE 3rd (MULTI) POSITION GATE VALVE
・配備3位功能：
「開啟閥門」「關閉閥門」 「到第三位置」
・ 9pin D-Sub 讓您檢查閥門和設備之間的連接狀態
・壓縮空氣/手排組合 -
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SCIENCE PROBE TRIPLE PREVENTION GATE VALVESCIENCE PROBE TRIPLE PREVENTION GATE VALVE
・三重預防型
・帶閥門控制器（1CH至4CH） -
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SCIENCE PROBE GATE VALVE CONTROL SYSTEMSCIENCE PROBE GATE VALVE CONTROL SYSTEM
・緊湊型設計
・步進馬達開閉控制
・壽命長（壓力控制：100萬次） -
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SCIENCE PROBE SPECIAL GATE VALVESCIENCE PROBE SPECIAL GATE VALVE
可安裝各種功能：
・帶電磁閥並連接位置感測器（15針D-Sub）
·限位開關
・角閥
・鎖定功能
・速度控制器&電磁閥（2端口+N2端口）
連接不銹鋼管（φ6） -
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SCIENCE PROBE ALUMINUM GATE VALVESCIENCE PROBE ALUMINUM GATE VALVE
・可用於所有製程和設備
・由半永久性陶瓷球和板簧構成
・實現了高度耐用的機構 -
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SCIENCE PROBE SHIELD GATE VALVESCIENCE PROBE SHIELD GATE VALVE
・閥門內部配備「屏蔽阻擋器」
→ 顯著減少氣體/灰塵/粉末侵入閥體 -
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SCIENCE PROBE HEATING GATE VALVESCIENCE PROBE HEATING GATE VALVE
・加熱規格有內部加熱器型或夾套加熱器型
・透過專用控制器進行溫度控制
・主要用途：用於粉末/氣體排除設備 -
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SCIENCE PROBE TRANSFER VALVE (I-MOTION)SCIENCE PROBE TRANSFER VALVE (I-MOTION)
・用於晶圓製造過程中的運輸
・緊湊型設計
・透過更換維修套件輕鬆維護 -
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SCIENCE PROBE TRANSFER VALVE (L-MOTION)SCIENCE PROBE TRANSFER VALVE (L-MOTION)
・用於晶圓製造過程中的運輸
・緊湊型設計
・透過更換維修套件輕鬆維護 -
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SCIENCE PROBE BUTTERFLY VALVESCIENCE PROBE BUTTERFLY VALVE
・對於需要壓力控制的工序
・緊湊型設計
・高效能控制器
・支援介面功能：RS232、RS485、Devicenet、Profibus、EtherCat、Analog
